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常熟市鴻嘉氟科技有限公司
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所在地區：江蘇

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江蘇常熟四氟甲烷

產品/服務：	四氟甲烷
有效期至：	長期有效
最后更新：	2017-09-27

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一、四氟化碳特性

在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、不燃的可壓縮性氣體，揮發性較高，是最穩定的有機化合物之一，在900℃時，不與銅、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比)，然而與可燃性氣體燃燒時，會分解產生有毒氟化物。

二、四氟化碳特性值

國標編號	22033
CAS號	75-73-0
中文名稱	四氟甲烷
英文名稱	tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride
別名	R14；四氟化碳
分子式	CF₄	外觀與性狀	無色無臭氣體
分子量	88.01	蒸汽壓	13.33kPa(15.07℃)
熔點	-183.6℃ 沸點：-128.0℃	溶解性	不溶于水
密度	相對密度(水=1)1.61(-130℃)	穩定性	穩定
危險標記	5(不燃氣體)	主要用途	用作低溫致冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術

三、四氟化碳質量標準

項目ITEM	公司標準COMPANY STANDARD
純度CF₄%	≥99.9	≥99.99
氮氣（N₂）的體積公數/10^-6	≤350	≤40
氧氣（O₂）的體積分數/10^-6	≤350	≤20
水分（H₂O）的質量分數/10^-6	≤5	≤1
一氧化碳（CO）的體積分數/10^-6	≤20	≤10
二氧化碳（CO₂）的體積分數/10^-6	≤80	≤10
酸度（以HF計）的質量分數/10^-6	≤0.5	≤0.1
其它氟碳化合物（F-）的體積分數/10^-6	實測	≤10
總雜質的體積分數/10^-6	≤1000	≤100

四、四氟化碳主要用途

作為低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術，四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。四氟化碳的溶氧性好，因此被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功，在275米到366米的深度內，小白鼠仍可安全脫險。

包裝:50kg鋼瓶包裝

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